84569090 (01/1995-12/1995) Werkzeugmaschinen zum Abtragen von Stoffen Aller Art Durch Elektrochemische Verfahren oder Elektronen-, Ionen- oder Plasmastrahl (ausg. Lot- und Schweissmaschinen, Materialprufmaschinen, Frasmaschinen mit Fokussiertem Ionenstrahl fur die Erzeugung und Reparatur von Masken und Reticles mit Mustern fur Halbleiterbauelemente sowie Apparate fur die Trockenatzung, Ablosung oder Reinigung von Halbleiterscheiben 'Wafers')

Quelle: Eurostat, Luxembourg