84569980 (01/1998-12/2006) Werkzeugmaschinen zum Abtragen von Stoffen aller Art durch elektrochemische Verfahren oder Elektronen-, Ionen- oder Plasmastrahl (ausg. Löt- und Schweißmaschinen, Materialprüfmaschinen, Fräsmaschinen mit fokussiertem Ionenstrahl für die Erzeugung und Reparatur von Masken und Reticles mit Mustern für Halbleiterbauelemente, Apparate für die Trockenätzung von Mustern auf Halbleitermaterialien und auf Trägermaterialien für Flüssigkristallanzeigen sowie Apparate für die Ablösung [Resistentfernung] oder Reinigung von Halbleiterscheiben [wafers])
Quelle: Eurostat, Luxembourg