85431900 (01/1996-12/2006) Teilchenbeschleuniger für Elektronen, Protonen usw., elektrisch (ausg. Ionenimplantationsanlagen zum Dotieren von Halbleitermaterialien)
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85431900 (01/1996-12/2006) Teilchenbeschleuniger für Elektronen, Protonen usw., elektrisch (ausg. Ionenimplantationsanlagen zum Dotieren von Halbleitermaterialien)
